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產(chǎn)品簡介：SE-VM 是一款高精度快速測量光譜橢偏儀?？赏ㄟ^橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，快速實現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析，適用于薄膜材料的快速測量表征。支持多角度，微光斑，可視化調(diào)平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置，多功能模塊定制化設(shè)計。 高精度橢偏測量解決方案；超高精度、快速無損測量；支持多角度、微光斑、可視化調(diào)平系統(tǒng)功能模塊靈活定制；豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫，保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力

ME-L是一款科研級全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀，凝聚了科研團(tuán)隊在橢偏技術(shù)多年的投入，其采用行業(yè)前沿的創(chuàng)新技術(shù)，包括消色差補(bǔ)償器、雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器同步控制、穆勒矩陣數(shù)據(jù)分析等?？蓱?yīng)用于半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu)，半導(dǎo)體周期性納米結(jié)構(gòu)，新材料，新物理現(xiàn)象研究，平板顯示，光伏太陽能，功能性涂料，生物和化學(xué)工程，塊狀材料分析以及各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學(xué)納米光柵常數(shù)以及一維/二維納米光柵材料結(jié)構(gòu)的表